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上海添時科學儀器有限公司

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全自動噴膠機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號:SP200-AT

品       牌:其他品牌

廠商性質:代理商

所  在  地:上海市

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更新時間:2025-03-13 08:55:33瀏覽次數:2960次

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應用領域 化工 處理晶圓 25片(標準Cassette),自動mapping
電缸有效行程 300mm*300mm 線軌式機械手自動上下片 可連續自動化工藝處理
最大霧化流量 8ml/min,程序可調 霧化顆粒直徑 30~50um
溫度均勻性 ≤±1%(溫度范圍:RT~150℃) 控溫精度 ±0.5℃
設備尺寸 1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H)
全自動噴膠機適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結構,不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統采用微小流量供液系統,流速連續平穩,流量精確可調
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調
觸摸式人機交互界面,可實現配方編輯及運行狀態監控

噴膠機

適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結構,不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統采用微小流量供液系統,流速連續平穩,流量精確可調
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調
觸摸式人機交互界面,可實現配方編輯及運行狀態監控

產品參數

處理晶圓:25片(標準Cassette),自動mapping
電缸有效行程:300mm*300mm
線軌式機械手自動上下片,可連續自動化工藝處理
最大霧化流量:8ml/min,程序可調
霧化顆粒直徑:30~50um
溫度均勻性:≤±1%(溫度范圍:RT~150℃)
控溫精度:±0.5℃
設備尺寸:1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H)

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